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光柵尺，也稱(chēng)為光柵尺位移傳感器，是一種利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置。它廣泛應用于數控機床的閉環(huán)伺服系統中，用于檢測刀具和工件的坐標，觀(guān)察和跟蹤走刀誤差，以補償刀具的運動(dòng)誤差。光柵尺通過(guò)光學(xué)原理實(shí)現高精度的距離測量和角度測量，被廣泛用于數控機床和測量?jì)x器等領(lǐng)域。其工作原理基于光學(xué)干涉，當光線(xiàn)照射到光柵條上時(shí)，會(huì )形成一系列亮暗相間的光斑，這些光斑經(jīng)過(guò)讀取頭轉換為數字信號，最后信號處理器接受這些數字信號，再根據不同的處理算法，實(shí)現不同的測量，例如線(xiàn)性測量、角度測量、速度測量等。
光柵尺的優(yōu)點(diǎn)包括測量精度高、分辨率高、可靠性高、反應速度快，可以實(shí)現微米級別的測量精度，適用于超高精度加工和測量領(lǐng)域。此外，光柵尺還具有很高的工作速度，可以在微秒或者毫秒級別內完成一次測量，這使得它適用于高速運動(dòng)設備的控制和反饋。光柵尺的分辨率通常在亞微米級別，常見(jiàn)的分辨率包括1微米、0.5微米、0.1微米等，一些特殊應用可能使用更高分辨率的光柵尺，如0.01微米甚至更小。光柵尺的精度可以達到分辨率的十分之一到百分之一左右，即使在長(cháng)距離測量中也能夠保持較高精度。?
